激光系統用于磷摻雜選擇性擴散工藝,可支持離線或在線兩種生產方式；

設備空間布局緊湊，設備占地尺寸小、結構簡單、調試方便、標準化模塊設計、兼容互換性強；

可提供兩激光、三激光、四激光等多種生產方式，從而實現低產能至高產能的全面化覆蓋；

采用主機與接駁臺兩部分構成，可實現人工手動上下料以及AGV自動上下料，以滿足客戶不同的上料需求；

可與現有市場上所有品牌的印刷機直接對接，兼容性和靈活性高；

該支持AOI檢測、硅片翻面、方阻檢測等功能擴展；