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激光摻雜設備

Laser doping system

激光系統用于磷摻雜選擇性擴散工藝,可支持離線或在線兩種生產方式;

設備空間布局緊湊,設備占地尺寸小、結構簡單、調試方便、標準化模塊設計、兼容互換性強;

可提供兩激光、三激光、四激光等多種生產方式,從而實現低產能至高產能的全面化覆蓋;

采用主機與接駁臺兩部分構成,可實現人工手動上下料以及AGV自動上下料,以滿足客戶不同的上料需求;

可與現有市場上所有品牌的印刷機直接對接,兼容性和靈活性高;

支持AOI檢測、硅片翻面、方阻檢測等功能擴展;

產品特點

Product Features

采用F-T勻化摻雜技術和激光脈沖整形技術,形成方形光斑術;

尺寸根據客戶需求定制,實現無損、高效、高精度、高效率的激光摻雜,提高PERC高效太陽能電池轉換效率,引發高效太陽能電池第二輪技術升級;

配合激光高精度圖形化,可實現與后續絲網印刷完美套印效果;

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